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用图形画成的图案大全能够解决因采用数轮迭代方式注入虚设图形(dummy pattern)来调整图案密度(pattern density)而导致的各种问题；该集成电路的布局布线方法，可以包括：在布局布线操作区满铺原生图案；获取主图形(main pattern)的数据；将主图形置入布局布线操作区内；根据主图形的区域，对原生图案中不满足等会说。

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用图形画成的图案且第二掩膜开口在基底上的投影和第一掩膜图案以及第一掩膜开口在基底上的投影至少部分重叠；基于第一掩膜图案、第一掩膜开口、第二掩膜图案和第二掩膜开口在基底上形成第一图案和第一开口。根据本发明实施例的半导体结构的制造方法能够提高图形化的精度，减小图形线宽，提高说完了。

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