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高IT之家的意思翻译4月18日消息,荷兰ASML公司宣布其首款采用0.55数值孔径(NA)投影光学系统的高数值孔径(High-NA)极紫外(EUV)光刻机已成功打印出第一批图案,标志着ASML乃至整个高数值孔径EUV光刻技术领域的一个重要里程碑。 ASML 在一份声明中表示:“我们是小猫。

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高是什么意思? (高NA)在EUV光刻机上实现了“首次曝光”里程碑,ASML也证实了这一点,并表示将继续测试和调整系统,使其能够发挥全部性能。那么问题来了,“初次曝光”是什么意思? “初次曝光”是指光刻系统第一次成功地将光图案投射到晶圆上。这标志着光刻系统已经完成。

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